指導教授
姓名:郭鴻飛 (Hung-Fei Kuo)
職稱:教授 學歷:喬治亞理工學院 電機工程博士 系所: 自動化及控制研究所 辦公室:T1-101A1 研究實驗室:T1-205 光電系統實驗室 電子信箱:[email protected] |
經歷:
臺灣科技大學 自動化及控制研究所教授兼所長 臺灣科技大學 自動化及控制研究所副教授 臺灣科技大學 自動化及控制研究所助理教授 ASML ACE應用發展工程師 星雲電腦 光學部主管 喬治亞理工學院 博士後研究 |
研究領域:
微影,雷射,光電系統整合 教授課程: 光學訊號處理,微影光學,雷射電子學, 半導體製程設備與技術 榮譽: 2013 國科會自動化學門優秀年輕學者研究計畫獎勵 |
實驗室成員
博士:
碩士:
趙敔涵
[email protected] Defect Detection 顏鈺靜 [email protected] Digital Maskless Lithography 黃品臻 [email protected] Wafer Bonding Alignment 莫大正 [email protected] OCD Measurement Niko Gian Goewin [email protected] OCD Measurement |
徐維晧
[email protected] Wafer Bonding Alignment 徐煜翔 [email protected] Overlay Metrology Faisal Samsuri [email protected] OCD Measurement |