光電系統實驗室
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研究成果
光學量測
數位微影與光學檢測整合技術開發
微影解析度增強技術
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研究方向
本實驗室為探討微影技術之光罩和光源優化,以及利用光學系統進行對準誤差和關鍵尺寸量測,目前研究主題有微影解析度增強技術、奈米尺寸量測技術、數位微影與光學檢測整合技術。
本實驗室研究生來自不同科系背景。目前主要設備包含不同波長雷射與光學元件、量測儀器、光學模擬軟體、高速運算伺服器等,可同時進行理論模型建立與實驗驗證。
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